Egyik félvezető ügyfelünk-egy EU-EU-alapú, EUV litográfiára szakosodott OEM-egy kihívással fordult hozzánk: nagy-sűrűségű gyártássalmikrocsatornás hűtőlemez6061-T6 alumíniumból készült. A szükséges alkatrész1200 mikro-lyuk, mindegyikØ 0,18 mm, amélység-/-átmérő aránya 10:1, éspozicionálási pontosság ±5 μm alattiaz alkatrész teljes felületén.
A legfontosabb kihívások a következők voltak:
Szerszámtörésextrém képarányok miatt
Karbantartáslyuk egyenességehosszú fúrási mélységekben
Biztosítvaforgács evakuálása mikro{0}}lyukak deformációja nélkül
Megelőzéshőtorzulásfolyamatos fúrás során
Ezek megoldására a következőket alkalmaztuk:
Speciális mikro{0}}fúrószerszámokbelső hűtőfolyadék csatornákkal
Több-lépésespeck fúrási stratégiáktartózkodási és visszahúzási vezérléssel
Ultrahangos{0}}öblítésa forgácsmentesség biztosítására
Folyamatban-termikus stabilizáláslépések között a bővítés szabályozására
Többszöri iteráció és szimuláció után megvalósítottuk a2 menetes fúrási és dörzsárazási folyamatamelyek konzisztens furatgeometriát és sorjamentes -belső felületet eredményeztek. A megmunkálás utáni-ellenőrzés a500× digitális mikroszkópésCMM szonda szkennelésselmegerősített:
Minden lyuk belül±3 μmtolerancia sáv
Felületi érdesség lentRa 0,2 μm
A lyuk-–-furat közötti távolság eltérése±4 μm150 mm × 150 mm-es mátrixon keresztül
Az alkatrész átment a hélium szivárgási teszteken, a hőátadási hatékonysági teszteken, és átdolgozás nélkül bekerült az ügyfél kísérleti összeállításába.
