A feldolgozó objektum elemzése
Anyag: optikai minőségű kvarcüveg
Feldolgozási jellemzők: több-felületi kontúrcsiszolás (beleértve a 3 aszimmetrikus oldalt)
Kulcsméretek: 16×16×10mm (hiba ±0,002mm)
Ez a kvarc prizma, amely csak akkora, mint egy köröm, a fő fény{0}}vezető eleme egy otthoni csúcskategóriás litográfiai gép{1}}optikai rendszerének. 8 összetett ívelt felületének 99,6%-os áteresztőképességet és nanométeres -szintű töréspontosságot kell elérnie, a felületi érdesség pedig közvetlenül befolyásolja a litográfiai gép expozíciós felbontását.
Ipari fájdalompontok és technikai nehézségek
Egy optikai technológiával foglalkozó cég szűk keresztmetszetbe ütközött a kvarcprizma-feldolgozás során, amikor a litográfiai gépek lokalizációját népszerűsítette:
Hagyományos csiszolási hibák: Az érdesség kézi polírozás után is eléri a Sa 120 nm-t, ami 15%-os fényszórási veszteséget eredményez
Berendezésfüggőség az importtól: Egyetlen japán ultra-precíziós csiszoló ára meghaladja a 20 millió jüant, a szállítási idő pedig akár 18 hónap
Termésválság: Az 500 próbagyártás első tételéből mindössze 32 felelt meg a szabványoknak, ami súlyosan lelassítja a projekt előrehaladását
A „nem engedheti meg magának az importált berendezéseket, és a hazai folyamatok nem jók” dilemmája közvetlenül gátolta a független litográfiai gépek fejlesztésének folyamatát.
BISHENmegoldások megoldása
Az optikai alkatrészek extrém pontossági követelményeire válaszul a BISHEN műszaki csapata innovatív kutatást és fejlesztést fejlesztett ki:
1. Ultrahangos függőleges öt-tengelyes összekötő rendszer
2. 0.1μm-szintű dinamikus kompenzáció, 18 tengelyes összekötő szerszámgépek pontos vezérlése
3. Illesztő aszimmetrikus felületű CAD/CAM intelligens programozás
4. Nagy-frekvenciás ultrahangos köszörülési technológia
5. 40kHz-es ultrahangos vibráció 52%-kal csökkenti a vágási feszültséget, és elkerüli a kvarc mikrorepedéseket
6. A gyémánt mikro{1}}poros csiszolókorong élettartama háromszorosára nő
Tényleges mért teljesítményugrás
Három nagy áttörést értek el egy bizonyos típusú hazai litográfiai gépprizma tömeggyártásában:
1. Felületi minőség: érdesség Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Feldolgozás hatékonysága: Az egy-darabos munkaidő 14 óráról 3,5 órára csökken
3. Költségkontroll: A berendezés-beruházás az importált megoldásnak csak 1/5-e
Az első, 3000 termékből álló tétel hozama 98,7%-ra ugrott, ami segíti az ügyfeleket a prototípusok 6 hónappal az ütemterv előtti összeszerelésében.
körülbelülBISHEN
BISHENA (2017-ben alapított) Precision Technology a „szűk keresztmetszet” technológiájának áttörésére összpontosít a csúcskategóriás-gyártás területén. Felépített egy 7500 négyzetméteres digitális gyárat Dongguanban, amelyet importált berendezéscsoportokkal, például öt-tengelykapcsolós megmunkálóközpontokkal és ultra-precíziós optikai csiszolókkal szereltek fel. Az olyan innovatív technológiák alkalmazásával, mint az ultrahangos megmunkálás és a kriogén vágás félvezető berendezésekben, optoelektronikai műszerekben és más területeken, több mint 20 hazai litográfiai gépipari láncvállalat számára nyújtott kulcsfontosságú alkatrészfeldolgozási megoldásokat, és több mint 500 000 precíziós optikai alkatrészt szállított.
