A félvezető iparbanmikron{0}}szintű pontosságnem luxus-hanem alaphelyzet. A felhasznált alkatrészekostyakezelő rendszerek, rézkarc kamrák, ésfotolitográfiai eszközökigényelnekmérettűrésekgyakran 5 mikron alatti. A hagyományos CNC megmunkálási módszerek speciális folyamatvezérlés és metrológia nélkül nehezen teljesítik ezeket az igényeket.
A kihívás: Amikor a mikronok számítanak
A hagyományos ipari alkatrészektől eltérően a félvezető alkatrészeknek:
Karbantartásszélsőséges laposság és párhuzamosság
Vanpontos furatigazítás és osztás
Biztosítsaminimális felületi hibákamelyek befolyásolhatják a vákuum vagy az optikai teljesítményt
Még a legkisebb eltérés is a következőkhöz vezethet:
Eltérés az ostyaátvitel során
Pontosság elvesztése a fotómaszk vetítésénél
Szennyezés vagy geometriai eltolódás miatti hozamveszteség
Valós-példa: Litográfiai eszközkeretek
Az egyik projektben, amelyben akönnyű alumínium ötvözet vázfotolitográfiai rendszerhez,5 μm alatti toleranciaszükséges volt a rögzítési felületeken annak biztosítása érdekébentökéletes átfedés-igazításchip minták.
Ennek érdekében a következőket alkalmaztuk:
5 tengelyes CNC megmunkálás hőkompenzációval
Alacsony-rezgés, nagy-sebességű orsóvezérlés
Valós idejű{0}}dimenziós vizsgálat és visszacsatolási hurkok
Ilyen pontosság nélkül egy mindössze 10 μm-es eltolás torzíthatja a maszk beállítását, és csökkentheti a forgácshozamot,{1}}a kliensnek pedig jelentős állásidőbe és anyagveszteségbe kerülhet.
Eljárásunk ittBISHEN Precízió
Félvezető OEM-eket szolgálunk ki:
Ultra-precíz CNC marás és esztergálás (±2~5 μm ismételhetőség)
Ra Kisebb vagy egyenlő, mint 0,2 μm felületkezeléskritikus tömítéshez vagy optikai zónákhoz
Tisztatérrel{0}}kompatibilis csomagolás
CMM és lézeres szkennelés ellenőrzés nyomon követhető jelentésekkel
Csapatunk megérti aminden mikron kritikussága-és tapasztalattal támogatja mind a K+F, mind a nagy-keverék alacsony{2}}termelési környezetek kiszolgálásában.
Miért számít
A félvezetőgyártásban a geometria minden. Bármilyen torzulás, eltolódás vagy sorja a következőket eredményezheti:
Minta torzulás
Ostyakezelési hibák
A vákuumrendszer meghibásodása
A precíziós megmunkálás nem csak a szűk tűrésekről szól,{0}}hanem afunkcionalitás és megbízhatóságkövetkező generációs chipgyártó berendezések
