Esettanulmány: Áttörés a kvarcüveg szubsztrátum feldolgozásban
Feldolgozás tárgya: kvarcüveg hordozó fotolitográfiához
Műszaki adatok:
Anyag: 99,99%-os nagy-tisztaságú kvarcüveg
Feldolgozási jellemzők: két-oldalas C0,2 letörés + függőleges oldalfal
Felületi követelmények: Ra < 150 nm (tükör fokozat)
Méretek: 145×145×5,5 mm±0,01 mm
A fájdalompontokat feldolgozó iparág elemzése
A félvezetőgyártó berendezések mag fogyóanyagaiként a fotolitográfiához használt kvarc alkatrészeknek három szigorú szabványnak kell egyszerre megfelelniük: anyagáteresztő képesség > 99,6%, mérettűrés ±10 μm és oldalfal érdesség Ra < 150 nm. A hagyományos feldolgozási módszer csiszolókorong-köszörülési eljárást használ, amelynek két fő iparági problémája van:
Hatékonysági szűk keresztmetszet: az egy-darabos feldolgozás akár 120 percet is igénybe vehet
Felületi hibák: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Szerszámvesztés: a normál szerszám élettartama kevesebb, mint 50 darab
BISHENmegoldások technológiai innováció
A kvarc anyagok kemény és rideg tulajdonságaira tekintettel egy kompozitfeldolgozási megoldáselfogadásra kerül:
• 20 kHz-es ultrahangos precíziós gravírozó és maró rendszer
• Beépített PCD mikro{0}pengés maró (él R0,05 mm)
• Axiális réteges vágási folyamat (2μm rétegenként)
A mért feldolgozási előnyök összehasonlítása
A folyamatellenőrzés és -összehasonlítás révén a fő mutatók jelentősen javultak:
Ipari alkalmazás értéke
Ez a megoldás sikeresen oldotta meg a "szűk keresztmetszetek" feldolgozási problémát a litográfiai gépalkatrészek lokalizációs folyamatában, a kvarchordozó gyártási kapacitást napi 10 darabról 50 darabra, a feldolgozás minősítési arányát pedig 63%-ról 98,5%-ra növelte. A Zeiss lézeres interferométer detektálása szerint a feldolgozási felület pontosságának PV értéke az<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
KörülbelülBISHEN
Bishen Precisionprecíziós hardveralkatrészek feldolgozására specializálódott, 7500 négyzetméteres szabványosított műhellyel, szolgáltatásai kiterjednek az űrrepülésre, az orvosi berendezésekre, az ipari robotokra és egyéb területekre. Az összetett szerkezeti alkatrészek feldolgozásának képességével és az ISO rendszertanúsítvánnyal teljes körű-folyamatmegoldásokat kínál ügyfeleinek a tervezéstől és fejlesztéstől a tömeggyártásig.
