A félvezető berendezések gyártásának világábana felület minősége nem csak az esztétikáról,{0}}a funkcióról, a hosszú élettartamról és a pontosságról is szól. Az olyan alkatrészeknek, mint az ostyatokmányok, lencsetartók és precíziós vezetők, nemcsak a mérettűréseknek kell megfelelniük, hanemextrém felületminőségi követelmények, gyakran lentRa 0,1 μm.
Miért számít a nanométeres{0}}szintű felületkezelés?
A nagy{0}}teljesítményű félvezető berendezések nagymértékben függenek az érintkezési pontosságtól és a tisztatér-kompatibilitástól. A nanométeres küszöbértéket meghaladó felületi érdesség:
Beavatkozniostya elhelyezési pontosság
Növekedéssúrlódás és kopásmozgás közben
Okoptikai jel szórása, amely a fotolitográfiát érinti
Teremtrészecskecsapdák, növeli a szennyeződés kockázatát
Például aostyaszínpad tartógyűrűa specifikáció feletti felületi érdesség mikro{0}}rezgéseket okozhat, csökkentve a pozicionálási pontosságot és a hozamot.
A CNC megmunkálási kihívás
A 0,1 μm-nél kisebb vagy azzal egyenlő Ra felületi minőség elérése messze meghaladja a szabványos CNC-eljárásokat. A hagyományos szerszámok és paraméterek gyakran hagynak maguk után mikro-karcolásokat, megmunkálási nyomokat vagy maradék feszültséget-, mindez elfogadhatatlan félvezető környezetben.
A nanométeres{0}}szintű minőség megközelítése
atBISHEN Precízió, kifejezetten felületérzékeny alkalmazásokhoz fejlesztettünk ki megmunkálási munkafolyamatokat:{0}}
Használataultra-finom szemű keményfém szerszámokegyedi geometriákkal
Polírozó bérleteka végső szerszámpályákba integrálva
Hűtőfolyadék-szabályozó rendszerekhogy elkerülje a hő okozta-mikro-könnyeket
Koordináció aCMM-ek és fehér{0}}interferométerekérdesség érvényesítésére
Mindegyik alkatrész többlépcsős ellenőrzésen esik át, nemcsak a mérettűrések, hanem a mérettűrések szempontjából is-mikron alatti felületi konzisztenciaminden érintkezési síkon.
Valódi tok: Tükör{0}}Kész ostyatartó lemezek
Egy ügyfél jobb felületi kidolgozású alumínium ostyalapokat igényelt, mintRa 0,05 μm, egységes az egész szerelvényen. Az optimalizált, nagy{1}}sebességű megmunkálási technikák és az egyéni polírozási stratégiák használatával olyan alkatrészeket szállítottunk, amelyek meghaladják az EUV-szintű tisztatéri összeszerelést.
Ne hagyja, hogy a felületi felület aláássák rendszerét
A nanoméretű felületi tökéletlenségek csendesen veszélyeztethetik a legpontosabb mechanizmusokat. Ha az alkalmazás megkövetelioptikai-minőségű felületek, vagykiváló súrlódási teljesítmény, beszélj velünk. Segítünk abban, hogy az alkatrészek megfeleljenek mindkettőnektoleranciaésstruktúra.
