A harmadik -generációs félvezetőgyártás területén a szilícium-karbid lapáttálcák és tokmányok korrózióállóságuk és magas hővezető képességük miatt pótolhatatlan kulcselemekké váltak. A feldolgozásuk során feltárt ipari fájdalompontok azonban régóta kínozzák a precíziós gyártó cégeket.
Tipikus feldolgozási eset
Egy bizonyos cég által vállalt szilícium-karbid ostya tálcás tokmány megmunkálási projektje a D380x5 mm-es munkadarabok üreges és horonyszerkezeti csiszolását igényli. Ennek az anyagnak a keménysége eléri a HV2002-t, ami közel 1/3-a a természetes gyémánt keménységének. A feldolgozás során gyakori éles összeomlási problémák 60% alatti áthaladást eredményeztek, és a hagyományos szerszámokat 159 perc alatt selejtezték, egyetlen darab feldolgozása pedig 888 percig tartott.
Fájdalompontok az ipari feldolgozásban
A SiC anyagok a hagyományos feldolgozás során három fő kihívással néznek szembe nagy keménységük és ridegségük miatt:
A munkadarab éleinek forgácsolási aránya több mint 35%
A szerszámkopás mértéke 3-5-ször nagyobb, mint a hagyományos anyagoké
A felületi érdesség-szabályozás ±0,5 μm pontosságát nehéz stabilan fenntartani
BISHENmegoldások innovációs gyakorlata
A szilícium-karbid-feldolgozás speciális igényeire válaszul a BISHEN műszaki csapata háromlépcsős folyamatinnovációt vezetett be:{0}}
• 20 kHz-es ultrahangos vibrációval segített feldolgozó rendszer bevezetése
• A beépített PCD mikro{0}}pengés maró személyre szabása (R élszög 0,02 mm)
• A vágási paraméterek adaptív dinamikus beállítási algoritmusának kidolgozása
Folyamat frissítési eredmények
A berendezés átalakítása utáni gyártási adatok a következőket mutatják:
1. A forgácsolási arány 8% alá esett
2. Egy darab feldolgozási ideje 462 percre lett optimalizálva
3. A szerszám élettartama meghaladta a 317 percet
4. A felületi érdesség stabilan szabályozott Ra0,4μm-nél
