Amikor a félvezető és fotonikai berendezések alkatrészeinek gyártásáról van szó, akkor nem csak a mikronokról van szó,{0}} hanem az anyagokról is,a CNC megmunkálást a fizikai korlátok közé szorítja. Alkatrészek, mint plostyatokmányok, plazmakamrák, ésbeállító szerelvényekegyre inkább abból készülnekultrakemény anyagokmintkerámia, volfrámkarbid, vagy edzett rozsdamentes acélok.
A kihívás: Amikor az anyag visszaüt
Az ultrakemény anyagok elengedhetetlenek a tartósság, a hőstabilitás és a korrózióállóság szempontjából, különösen magas-vákuum és magas{2}}hőmérsékletű félvezető környezetben. De komoly kihívásokkal járnak:
Rendkívül nagy vágóerők
Gyors szerszámkopás, akár bevonatos keményfém vagy gyémántszerszámokkal is
Mikrorepedésvagytermikus deformációhagyományos megmunkálás mellett
Veszfejlett kerámia alkatrészekpéldául. Egy szilícium-nitrid lapka tartógyűrűt magában foglaló projektben az anyag keménysége meghaladta a HRA 90-et. A szabványos szerszámok percek alatt meghibásodtak, és a hő felhalmozódása felületi mikrotöréseket okozott.
Miért nem sikerül a hagyományos megmunkálás?
A hagyományos megmunkálási elrendezések küzdenek ezekkel az anyagokkal, mert:
A szabványos szármaró nem bírja a keménységet
A nagy súrlódás túlzott felmelegedéshez vezet, ami torzítja az alkatrészt vagy csökkenti a szerszám élettartamát
A vibráció vagy a rázkódás törékeny töréseket hoz létre a kerámiákban vagy keményfémekben
Ez különösen megnehezíti a tűréshatárok fenntartását azokban az alkatrészekben, amelyeknélszigorú méretkorlátozások, mint például az optikai lencsetartók vagy a metrológiai keretek.
Megközelítésünk: Szerszámpálya stratégia + folyamattervezés
atBISHEN Precízió, ezeket az alkatrészeket nem kezeljük szokásos munkákként. Mi:
HasználatPCD, CBN és gyémánt{0}}bevonatú szerszámokultrakemény{0}}felületekhez tervezve
Alkalmaznikis-erő, nagy-sebességű vágásoptimalizált előtolási sebességekkel és tartózkodási időkkel
Foglalkoztathűtőfolyadék leválasztás vagy száraz megmunkálásamikor a hőérzékenység kritikus
Beépítésfolyamatban lévő ellenőrzés-repedések vagy felületi anomáliák elfogására az utolsó áthaladás előtt
Valós-eset: nagy-tisztaságú kerámiatartók megmunkálása
Egy globális litográfiai OEM bízott meg minket a megmunkálássalegyedi, nagy tisztaságú{0}}timföldtartók-vel<±5 μm tolerance. Using a controlled micro-cutting strategy, specialized jigs, and multi-pass finishing, we completed the parts with nulla mikrorepedésés több mint 30%-kal meghosszabbítja a szerszám élettartamát.
Kemény anyagokhoz készült, a csúcstechnológiában{0}} megbízható
Legyen szó megmunkálásrólcirkónia alkatrészek ionbeültetéshezvagyvolfrámötvözetből készült lámpatestek röntgen képalkotó rendszerekhez, biztosítjuk a szakértelmet, a szerszámokat és a folyamatirányítást, amelyek ahhoz szükségesek, hogy megbirkózzunk azzal, amit mások elkerülnek.
